场发射扫描电子显微镜主要用于各种样本表面的微观形貌的高分辨观察，可配备X射线能谱仪等附件，可同时进行微区成分分析，配备二次电子及背散射电子探测器，其他的附件包括红外CCD、和全自动离子溅射仪等。
1.2技术参数
1.2.1分辨率：二次电子图像: ≤0.6nm (15kV)、 ≤0.7nm (1kV) 。
1.2.2背散射电子：≤1.5nm(1kV) 、加速电压: 0.01 - 30KV 连续可调、束流范围：1pA～500nA连续可调、放大倍率75X – 3,000,000X ；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能
1.3真空系统：真空度：电子枪室高真空：10-7Pa ,，提供离子泵用专用UPS，延时200小时以上；样品室真空：10-4Pa、泵系统：分子泵、2个离子泵和机械泵、
正常换样时间：小于三分钟
1.4电子光学系统：热场发射电子枪：热场，能自动合轴调整，寿命保证3年。
聚光镜：电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；光阑角度控制透镜自动控制束斑尺寸，无需手动切换光阑、物镜光阑：4级可调、X/Y方向精细可调对中。
消像散器：八级电磁系统，具有自动消像散功能、扫描线圈：2级电磁系统，具有扫描图像旋转连续可调，并随工作距离能自动旋转补偿等功能、电图像位移：±5µm，可通过控制电子束移动实现、自动调整功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能
1.5样品室和样品台：样品台：5轴马达驱动全对中样品台, 示意图在监视器上显示、样品台尺寸: 可装直径不小于100mm的样品
1.6行程：X＝70mm, Y=50mm, Z=2 - 41mm, 倾斜 -5° - +70°, 旋转 360°、样品更换：通过气锁更换样品同时支持大开门换样、要求提供In-Lens探头、二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪（EDS）、红外CCD照相机
1.7探测器及成像系统In-Lens探测器和二次电子探测器： 二次电子像、可抽拉式背散射电子探测器： 背散射电子像、成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像，GB模式等
1.8扫描电镜计算机系统：操作系统 Windows® XP Professional、显示器：不小于23英寸 LCD
1.9软件系统：电镜控制软件、a) 具有自动聚焦、自动消像散、自动对比度/亮度调节等功能、b) 具有鼠标控制放大、聚集、消像散等功能，且放大倍数同步调整、c）具有NEO一键拍照功能，无需任何调节、图像处理和测量软件：a) 图像格式：BMP，JPEG，TIFF 、b) 图像显示：可以全屏、分屏的形式显示和保存、c) 图像测量：具有点、线、角度、直径等图像测量功能、
2.0安全保护：具有突然断电、断水、真空状态不良保护措施，UPS标配电子枪延时10小时以上。
能谱仪：探测器：硅漂移探头，晶体活区面积≥30mm2、元素分析范围Be4—Cf98、能量分辨率：Mn Ka优于127eV@50,000CPS、谱峰稳定性： 1,000cps到100,000cps，Mn Ka分辨率变化及谱峰漂移小于1eV。48小时内谱峰漂移<1.5eV。
能谱应用软件操作简便，导航器界面，并具有中英文操作界面可自由切换，配备实时能谱功能，可在采集图像同时进行能谱信号采集。谱定性分析:可自动标识谱峰，可进行谱重构，对重叠峰进行峰剥离, 提供和峰定量修正功能.
1.13、全自动离子溅射仪、溅射电流：10,20,30,40mA、溅射靶：白金、样品台：直径64mm、真空室：120mm(直径)x100mm(高) （玻璃制）
1.14主动式磁屏蔽系统：磁屏蔽空间内部中心区域静态地磁场屏蔽后的强度变化小于100 nT；主动式磁场补偿系统：
1.14.2.1带宽：1000hz（3dB）。
传感器噪声：7pT/Hz^0.5 @1Hz、温度漂移：0.1nT/C°、时间漂移：0.1nT/h、磁场补偿范围：60mG、多传感器探头（≥2）监视室内磁场变化，可监测室内多个位置的磁场。
